光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、 潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、 管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、 設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)

換氣次數(shù)：100000級≥15次；10000級≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級、100級0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波動±2℃。

溫度45－65％；GMP車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。

   對于潔凈車間裝修施工的專業(yè)人員都知道，在對食品車間凈化工程施工時要注意很多事項，比如保溫層外表面應(yīng)平整、密封、無脹裂和松弛現(xiàn)象；保護殼的外表面應(yīng)光滑不積塵，便于擦拭，接縫必須密封；保溫施工時不得在風(fēng)管壁上開孔和上螺釘，不得破壞系統(tǒng)的密閉性等。這些或許對于潔凈車間的使用者來說并不需要知道，但是使用者一定要知道食品行業(yè)潔凈車間日常維護注意事項，這樣才能更好的發(fā)揮出潔凈車間的“性能”。

   食品行業(yè)潔凈車間日常維護注意事項：

1、注意潔凈室周圍的環(huán)境衛(wèi)生，防止粉塵等物質(zhì)產(chǎn)生；

2、注意檢查初、中效的壓差，當(dāng)其壓差大于初始壓差的2倍時應(yīng)對濾布進行清洗；

3、初、中濾布清洗時，不用洗衣粉，選擇清洗劑。

潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù)，是近些年隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)、微量雜志控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的檢測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境只來那個的控制技術(shù)。凈化工程技術(shù)在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

對于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路。而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個重要標(biāo)志。