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平面曝光顯影工廠在線咨詢「在線咨詢」

發(fā)布時(shí)間:2021-08-18 15:37  

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感光(曝光)完成后就要進(jìn)行下一步工作——顯影。顯影的目的是通過顯影藥將未曝光的地方?jīng)_走,經(jīng)過曝光的地方固化,這樣就能確定需要被腐蝕和不被腐蝕的圖案。以便后續(xù)蝕刻加工的精度。

曝光后要檢測(cè)曝光后的圖形質(zhì)量,若有遺漏需要進(jìn)行人工補(bǔ)油補(bǔ)點(diǎn)。補(bǔ)油后需要進(jìn)行第二次烘烤。

之后就進(jìn)行顯影,確定圖形的清洗度,顯影過程中主要是控制藥的濃度,溫度,速度以及完成后的烘干溫度。


曝光顯影是蝕刻工藝中非常重要的部分,它是圖案準(zhǔn)確度的決定性因素,因此曝光顯影管控非常重要。蝕刻加工的優(yōu)點(diǎn)主要體現(xiàn)在:產(chǎn)品沒有毛刺,大批量,密集的小孔同樣可以穩(wěn)定的批量生產(chǎn).精密度可以更高,較高管控的精度可以達(dá)到 /-0.005mm,特別適合精密薄材的不銹鋼,銅等材料的蝕刻加工,其優(yōu)點(diǎn)主要體現(xiàn)在不變形,公差要求嚴(yán).加工出的產(chǎn)品沒有毛刺、無臟污、表面光滑,蝕刻加工其他機(jī)械工藝無法加工的高精密產(chǎn)品!





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