正性光刻膠

正性光刻膠

正性光刻膠也稱為正膠。正性光刻膠樹脂是一種叫做線性酚醛樹脂的酚醛甲醛，提供光刻膠的粘附性、化學抗蝕性，當沒有溶解存在時，線性酚醛樹脂會溶解在顯影液中，感光劑是光敏化合物，常見的是重氮萘醌（DNQ）。在曝光前，DNQ是一種強烈的溶解，降低樹脂的溶解速度。在紫外曝光后，DNQ在光刻膠中化學分解，成為溶解度增強劑，大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應會在DNQ中產(chǎn)生羧酸，它在顯影液中溶解度很高。同種厚度的正負膠，在對于抗?jié)穹ê透g性方面負膠更勝一籌，正膠難以企及。正性光刻膠具有很好的對比度，所以生成的圖形具有良好的分辨率。

光刻膠國際化發(fā)展

業(yè)內人士認為，按照現(xiàn)在“單打獨斗”的研發(fā)路徑，肯定不行。相關部門要加大產(chǎn)業(yè)政策的配套支持力度，應從加快完善整個產(chǎn)業(yè)鏈出發(fā)，定向梳理國內缺失的、產(chǎn)業(yè)依賴度高的關鍵核心電子化學品，要針對電子化學品開發(fā)難度高，檢測設備要求高的特點，組織匯聚一些優(yōu)勢企業(yè)和，形成一個產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，國家建立一個生產(chǎn)應用平臺，集中力量突破一些關鍵技術。2μm品牌產(chǎn)地型號厚度耐熱溫度應用Futurrex美國PR1-500A0。

江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健表示，光刻膠要真正實現(xiàn)國產(chǎn)化，難度很大。問題是國內缺乏生產(chǎn)光刻膠所需的原材料，致使現(xiàn)開發(fā)的產(chǎn)品碳分散工藝不成熟、碳漿材料不配套。而作為生產(chǎn)光刻膠重要的色漿，至今依賴日本。前道工藝出了問題，保證不了科研與生產(chǎn)，光刻膠國產(chǎn)化就無期。光刻工藝重要性二光刻膠的曝光波長由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13。因此，必須通過科研單位、生產(chǎn)企業(yè)的協(xié)同創(chuàng)新，盡快取得突破。

有提出，盡管國產(chǎn)光刻膠在面板一時用不起來，但還是要從政策上鼓勵國內普通面板的生產(chǎn)企業(yè)盡快用起來。只有在應用過程中才能發(fā)現(xiàn)問題，解決問題，不斷提升技術、工藝與產(chǎn)品水平，實現(xiàn)我國關鍵電子化學品材料的國產(chǎn)化，完善我國集成電路的產(chǎn)業(yè)鏈，滿足國家和重點產(chǎn)業(yè)的需求。在半導體應用領域，隨著汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)等發(fā)展，會在一定程度上增加對G線、I線的需求，利好G線、I線等生產(chǎn)企業(yè)。

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光刻膠存儲條件及操作防護

光刻膠是一種可燃液體，儲存條件應符合對應的法規(guī)，不要與強氧化劑混合，存放在通風良好的地方，保持容器密閉，避免吸入蒸汽或霧氣，避免接觸眼睛、皮膚或衣服，操作后徹底清洗。

個人防護

眼睛：佩戴化學飛濺護目鏡。

皮膚：戴上適當?shù)姆雷o手套防止皮膚暴露。

服裝：穿戴合適的防護服防止皮膚暴露。

呼吸器：無論何時在工作環(huán)境下呼吸保護必須遵循中國職業(yè)安全健康管理局標準的規(guī)定和ANSI美國國家標準學會Z88.2的相關要求，或必須執(zhí)行歐洲呼吸防護EN 149的標準。

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光刻膠運輸標識及注意事項

標簽上標明的意思

R標識

R10 YI燃。

S標識

S16  遠離火源-禁止吸煙。

S 24 避免接觸皮膚。

S 33對靜電放電采取預防措施。

S 9  將容器保持在通風良好的地方。

水生毒性

通過自然環(huán)境中的化學、光化學和微生物降解來分解。一般不通過水解降解。300 ppm對水生生物是安全的。鹵化反應可能發(fā)生在水環(huán)境中。