氦氣檢漏儀關鍵零部件全球集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;化學性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學反應;檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應是相當?shù)撵`敏。

氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣檢漏儀可同時檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；專業(yè)定制的的密封接頭，穩(wěn)定可靠，減少誤判。氦氣檢漏儀觸摸屏實時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)和運行參數(shù)，監(jiān)控一目了然。電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能，確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。

氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。氦質(zhì)譜檢漏儀的特點：檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；