從真空泵機(jī)械密封故障的統(tǒng)計(jì)記錄來(lái)看，氣穴現(xiàn)象是真空泵轉(zhuǎn)子嚴(yán)重磨損和固定壓力的主要原因。和機(jī)械密封的損壞。進(jìn)口真空泵工作時(shí)，如果泵局部區(qū)域內(nèi)的壓力降至相應(yīng)溫度下液體的飽和蒸氣壓以下，液體將蒸發(fā)并產(chǎn)生氣泡。隨著液體的流動(dòng)，氣泡被帶到高壓區(qū)域。

       真空泵工作時(shí)，由于操作錯(cuò)誤，閥門(mén)突然關(guān)閉或打開(kāi)，導(dǎo)致進(jìn)口真空時(shí)液體流量急劇變化或工作液體溫度升高（25℃以上）泵是茹從而導(dǎo)致泵中壓力的方向發(fā)生周期性的急劇變化，尺寸變化，導(dǎo)致水錘損壞金屬表面或在動(dòng)靜部件之間造成異常磨損。

        目前有兩代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品由于軸承密封隔離不是很好，不能做到完全無(wú)油，故不推薦使用。第二代產(chǎn)品是單級(jí)渦旋設(shè)計(jì)。只有一個(gè)軸承，軸承與真空腔隔離，完全無(wú)油。并且裝有控制系統(tǒng)，可變頻控制0、50、60、70Hz，故性能較好。產(chǎn)品不需要維修，2～3年更換密封件，維護(hù)方便、簡(jiǎn)單，具有較強(qiáng)的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國(guó)銷(xiāo)量達(dá)100臺(tái)/年左右。美國(guó)Varian公司:美國(guó)Varian公司1998年開(kāi)發(fā)了渦旋泵，到目前已有三代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品已基本停產(chǎn)。第二通過(guò)技術(shù)改進(jìn)，形成了風(fēng)格的二級(jí)設(shè)計(jì):級(jí)是三渦旋線同時(shí)抽氣，可提高抽速，工作在從大氣壓到5．5×104Pa;第二級(jí)是單渦旋線，從5．5×104Pa到極限。一、二級(jí)同時(shí)工作，是真正的(從壓力角度區(qū)分的)兩級(jí)泵。第三代產(chǎn)品是在第二代產(chǎn)品上增加了控制系統(tǒng)。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產(chǎn)品，作為分子泵的前級(jí)主泵，不需要維修，2～3年更換密封件，維護(hù)方便、簡(jiǎn)單，因此在我國(guó)銷(xiāo)量達(dá)100臺(tái)/年以上。

       萊寶真空泵的使用需經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油，確保真空泵工作正常。

　　一般情況下，真空泵工作2000小時(shí)后應(yīng)進(jìn)行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開(kāi)裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個(gè)真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用清洗，并烘干。對(duì)橡膠件類(lèi)清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時(shí)應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。