從真空泵機械密封故障的統(tǒng)計記錄來看，氣穴現(xiàn)象是真空泵轉子嚴重磨損和固定壓力的主要原因。和機械密封的損壞。進口真空泵工作時，如果泵局部區(qū)域內(nèi)的壓力降至相應溫度下液體的飽和蒸氣壓以下，液體將蒸發(fā)并產(chǎn)生氣泡。隨著液體的流動，氣泡被帶到高壓區(qū)域。

       真空泵工作時，由于操作錯誤，閥門突然關閉或打開，導致進口真空時液體流量急劇變化或工作液體溫度升高（25℃以上）泵是茹從而導致泵中壓力的方向發(fā)生周期性的急劇變化，尺寸變化，導致水錘損壞金屬表面或在動靜部件之間造成異常磨損。

        目前有兩代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品由于軸承密封隔離不是很好，不能做到完全無油，故不推薦使用。第二代產(chǎn)品是單級渦旋設計。只有一個軸承，軸承與真空腔隔離，完全無油。并且裝有控制系統(tǒng)，可變頻控制0、50、60、70Hz，故性能較好。產(chǎn)品不需要維修，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，具有較強的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國銷量達100臺/年左右。美國Varian公司:美國Varian公司1998年開發(fā)了渦旋泵，到目前已有三代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品已基本停產(chǎn)。第二通過技術改進，形成了風格的二級設計:級是三渦旋線同時抽氣，可提高抽速，工作在從大氣壓到5．5×104Pa;第二級是單渦旋線，從5．5×104Pa到極限。一、二級同時工作，是真正的(從壓力角度區(qū)分的)兩級泵。第三代產(chǎn)品是在第二代產(chǎn)品上增加了控制系統(tǒng)。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產(chǎn)品，作為分子泵的前級主泵，不需要維修，2～3年更換密封件，維護方便、簡單，因此在我國銷量達100臺/年以上。

       萊寶真空泵的使用需經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應及時更換新油，確保真空泵工作正常。

　　一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。