光波超精密——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動(dòng)壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動(dòng)壓力型如左下圖所示，兩面相對(duì)運(yùn)動(dòng)，間隙呈楔形，沿運(yùn)動(dòng)方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動(dòng)壓懸浮。靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，并借助靜壓力使之懸浮，節(jié)流孔的作用是在氣隙改變時(shí)，調(diào)節(jié)氣隙中的壓力，使導(dǎo)軌具有剛度。空氣浮筒導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動(dòng)副，滑動(dòng)片之間是氣膜潤(rùn)滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——單軸花崗石氣浮導(dǎo)軌

平面氣浮導(dǎo)軌的摩擦力有一種"√―"形變趨勢(shì)，隨著移動(dòng)速度的增加先下降到一個(gè)zui低值，然后逐漸上升到一個(gè)平衡值，但不隨移動(dòng)速度的增加而改變；而zui大摩擦力隨著氣浮軸承進(jìn)氣壓力的變化而變化.因?yàn)闇y(cè)量機(jī)移動(dòng)時(shí)的慣性力大小與馬達(dá)驅(qū)動(dòng)力、氣浮導(dǎo)軌的摩擦力以及移動(dòng)部件的質(zhì)量有關(guān)的慣性力會(huì)隨著測(cè)量機(jī)測(cè)量速度和加速度的變化而變化.從上面的分析中可以看出，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的zui優(yōu)測(cè)量速度和zui優(yōu)加速度都存在著變化.參考文獻(xiàn)[7]的試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了這一點(diǎn)。

空氣靜壓導(dǎo)軌是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)實(shí)現(xiàn)三維運(yùn)動(dòng)測(cè)量的重要組成部分。早期研制的三坐標(biāo)摩擦導(dǎo)軌，大多采用滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌，因其摩擦阻力大，較易磨損，靜、動(dòng)摩擦系數(shù)差異較大，且在低速時(shí)容易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象，已不能滿足測(cè)量精度和速度的不斷提高，因而逐漸用空氣靜壓導(dǎo)軌代替滑動(dòng)摩擦導(dǎo)軌。風(fēng)壓式導(dǎo)軌摩擦系數(shù)小，運(yùn)行平穩(wěn)，運(yùn)動(dòng)精度高，磨損小，是目前三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)中使用zui廣泛的一種導(dǎo)軌形式。