質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計(jì)）利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)放大去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門。通過實(shí)時(shí)的流量檢測(cè)閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

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流量計(jì)的常見類型介紹

1. 容積式流量計(jì)，它利用機(jī)械測(cè)量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據(jù)測(cè)量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測(cè)量流體體積流量。

2. 浮子式流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的一種，在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。

3. 差圧式流量計(jì) ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測(cè)件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測(cè)間與管道的尺寸來計(jì)算流量的儀表。

4. 渦街流量計(jì)，在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。

5. 渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子（渦輪）感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。

6. 超聲流量計(jì)，通過檢測(cè)流體流動(dòng)對(duì)超聲束（或超聲脈沖）的作用以測(cè)量流量的儀表。

7. 電磁流量計(jì)，電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測(cè)量導(dǎo)電性液體的儀表。

8. 熱式流量計(jì)，熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值，使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。

科里奧利式流量計(jì)，其原理是利用流體在振管內(nèi)流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測(cè)量其力而得到流體質(zhì)量流量。

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