DWS型電容測(cè)微儀是電容不接觸式通用性精密測(cè)量?jī)x器，它既是測(cè)振儀，又是測(cè)微儀，既能測(cè)量動(dòng)態(tài)位移，又能測(cè)量靜態(tài)位移，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦，無磨損和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)，在科學(xué)院、工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工廠得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測(cè)試儀器。所以在航空、航天、工業(yè)生產(chǎn)加工、超精密測(cè)量等領(lǐng)域中具有廣泛應(yīng)用。儀器遠(yuǎn)銷國(guó)內(nèi)外，收到國(guó)內(nèi)外用戶的一致好評(píng)。

從加工方法的機(jī)理、特點(diǎn)和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復(fù)合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學(xué)能和核能等對(duì)材料進(jìn)行加工和處理；復(fù)合加工是采用多種加工方法的復(fù)合作用，進(jìn)行優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，相輔相成。當(dāng)前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0。  在加工精度的量級(jí)上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進(jìn)入納米級(jí)精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應(yīng)的技術(shù)。

制造業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。在工業(yè)計(jì)量中有很多需要檢測(cè)的參數(shù)與位移量的變化有關(guān)，如力、流量、溫度、速度、振動(dòng)、密度、粘度等。當(dāng)前，在制造自動(dòng)化領(lǐng)域，進(jìn)行了大量有關(guān)計(jì)算機(jī)輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計(jì)算機(jī)集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場(chǎng)，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。

1981年美國(guó)IBM公司研制成功的掃描隧道顯微鏡(STM)，將人們帶到了微觀世界。STM具有極高的空間分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分別達(dá)到0.1?nm和0.01?nm，即可分辨出單個(gè)原子)，廣泛應(yīng)用于表面科學(xué)、材料科學(xué)和生命科學(xué)等研究領(lǐng)域，在一定程度上推動(dòng)了納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展。針對(duì)不同的工業(yè)計(jì)量中的檢測(cè)參數(shù)，經(jīng)變換和不斷的改進(jìn)更新達(dá)到實(shí)現(xiàn)測(cè)量和控制操作的目的。與此同時(shí)，基于STM相似原理與結(jié)構(gòu)，相繼產(chǎn)生了一系列利用探針與樣品的不同相互作用來探測(cè)表面或界面在納米尺度上表現(xiàn)出來性質(zhì)的掃描探針顯微鏡(SPM)，用來獲取通過STM無法獲取的有關(guān)表面結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的各種信息。