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發(fā)布時間:2021-07-13 11:11  

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真空鍍膜加工是一種由物理方法產(chǎn)生薄膜材料的技術。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。


真空微米涂裝是一種新型的涂裝技術。真空氣相沉積制程,是在常溫的真空室中,讓活性分子在被涂裝的物件表面生成披覆的聚合物薄膜。 可涂裝到任何形狀的表面,且不產(chǎn)生死角。包括尖銳的錂角隙縫內(nèi)部與極細微的中。膜厚均可達到一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位。 

真空鍍膜加工是保證真空鍍膜鍍膜質(zhì)量的關鍵。鍍膜操作:待真空鍍膜鍍件上架并裝上鎢絲,然后入爐,檢查接觸是否良好,轉(zhuǎn)動正常,關真空鍍膜真空室,抽真空。



真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有障礙。

鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。

真空鍍膜的物理過程

基本原理可分為三個工藝步驟:

鍍料的氣化:即鍍料的蒸發(fā)、升華或被濺射從而形成氣化源

鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過碰撞,產(chǎn)生多種反應。

鍍料粒子在基片表面的沉積


真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發(fā)并凝結于鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。

物理氣相沉積技術是指在真空條件下,利用各種物理方法,將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子,直接沉積到基體表面上的方法。

物理氣相沉積技術具有膜/基結合力好、薄膜均勻致密、薄膜厚度可控性好、應用的靶材廣泛、濺射范圍寬、可沉積厚膜、可制取成分穩(wěn)定的合金膜和重復性好等優(yōu)點。