在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面：

　　靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體)，由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此表現(xiàn)為越容易帶電。相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用的。

　　凈化工程亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。光學(xué)微電子凈化工程解決方案:4、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之無塵車間的特點(diǎn)A、無塵車間潔凈度:LCD制屏的簡略流程為：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激1活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長一段時(shí)間。

　　光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析：對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。半導(dǎo)體潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)──或者在遠(yuǎn)紫外線處理（DUV）區(qū)甚至更小──而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案;對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī) FFU?？傊?，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

      無塵室標(biāo)準(zhǔn)溫濕度是多少?

      這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)你的無塵室用途和生產(chǎn)的產(chǎn)品來決定，比如電子類產(chǎn)品有些膠到24攝氏度就會(huì)明顯地液化，沒法用了，那使用這種膠的無塵室溫度范圍肯定要低，濕度也是類似的。

      也就是說，決定溫濕度標(biāo)準(zhǔn)的是你的產(chǎn)品、工藝要求，而不是無塵室本身。無塵室要根據(jù)你的用途需求來進(jìn)行設(shè)計(jì)，滿足你的溫濕度要求。沒有完全統(tǒng)一的無塵室溫濕度標(biāo)準(zhǔn)。