凈化車間內(nèi)的噪聲級，應符合下列要求：一、動態(tài)測試時，凈化車間內(nèi)的噪聲級不應超過70分貝A。二、空態(tài)測試時，亂凈化車間內(nèi)的噪聲級不宜大于60分貝A;層流凈化車間內(nèi)的噪聲級不應大于65分貝A。 注：(1)由于技術(shù)經(jīng)濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時，噪聲級可適當放寬，但不宜大于75分貝A;(2)上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個工作點人耳位置(人離開)的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。a、噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲太級;各頻帶聲壓級值不宜大于1的規(guī)定。b、平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結(jié)構(gòu)應有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。c、各種設(shè)備均應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備，應設(shè)置專用隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。d、凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。除事故排風外，應對潔凈室內(nèi)的排風系統(tǒng)進行減噪設(shè)計。e、凈化車間的空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風管內(nèi)風速宜按下列規(guī)定選用：(1)總風管為6～10米/秒。(2)無送、回風口的支風管為6～8米/秒。 (3)有送、回風口的大風管為3～6米/秒。

設(shè)計實驗室時應該注意哪些事項：1、實驗室配有空調(diào)系統(tǒng)，其風口應采用噴塑或其他處理過的金屬材料制成，化學實驗室一般不設(shè)回風口。2、實驗室的照明燈具不宜用金屬制品，若選用金屬燈具需經(jīng)表面處理，以防止腐蝕。3、各種管線應盡量避免外露，實驗室應簡潔。有條件應設(shè)置火災煙霧報警器等。4、安全設(shè)施包括消防滅火系統(tǒng)，惰性氣體滅火系統(tǒng)，安全柜，緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設(shè)施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統(tǒng)等。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列基本原則：若能徹底實施“不攜入”技術(shù)，無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。


凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步，技術(shù)對溫濕度的請求也越來越高，有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因為人出汗今后，對商品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。