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發(fā)布時(shí)間:2021-01-19 03:02  
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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
掩膜(MASK):全稱(chēng)單片機(jī)掩膜,是指程序數(shù)據(jù)已經(jīng)做成光刻版,在單片機(jī)生產(chǎn)的過(guò)程中把程序做進(jìn)去。優(yōu)點(diǎn)是:程序可靠、成本低。缺點(diǎn):批量要求大,每次修改程序就需要重新做光刻板,不同程序不能同時(shí)生產(chǎn),供貨周期長(zhǎng)。
一種具有保護(hù)環(huán)的光刻板,包括光刻板本體和設(shè)置在光刻板本體外圈的保護(hù)環(huán),所述保護(hù)環(huán)緊密?chē)诠饪贪灞倔w的外部邊緣處并將內(nèi)部的光刻板本體圍起,所述保護(hù)環(huán)上具有圓型開(kāi)孔、直角型開(kāi)孔與直線型開(kāi)孔,所述直角型開(kāi)孔設(shè)置在光刻板本體的轉(zhuǎn)角處,所述直線型開(kāi)孔設(shè)置在光刻板本體的水平邊緣與豎直邊緣,所述圓型開(kāi)孔設(shè)置在直角型開(kāi)孔與直線型開(kāi)孔的連接處。另外,不能用手觸摸掩膜板:灰塵顆粒,在掩膜板盒打開(kāi)的情況下,不準(zhǔn)進(jìn)出掩膜板室(MaskRoom),在存取掩膜板時(shí)室內(nèi)保持2人。
掩膜版:通俗點(diǎn)理解,相當(dāng)于過(guò)去用膠片沖洗照片時(shí)的底片。底片如果精度不夠,是洗不出來(lái)照片的。光刻機(jī)施工前,要根據(jù)設(shè)計(jì)好的芯片電路圖制作掩膜板。掩膜板材質(zhì)是石英玻璃,玻璃上有金屬鉻和感光膠。通過(guò)激光在金屬鉻上繪制電路圖。精度要求非常高。
透鏡:用透鏡的光學(xué)原理,將掩膜版上的電路圖按比例縮小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中會(huì)產(chǎn)生光學(xué)誤差。要控制這個(gè)誤差。精度要求很高。
就是測(cè)量臺(tái)移動(dòng)的控制器,也是納米級(jí)精度,要求超高。
接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實(shí)際掩模的尺寸相同。i在襯底上形成的圖案是1∶1,并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式曝光i光線;另一方面,縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實(shí)際尺寸。i在襯底上形成的圖案的幾次通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)投影模式曝光i光明。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過(guò)干版還有包膜和超微顆粒干版,其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。