氦質(zhì)譜檢漏儀的特點

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)

氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜室正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦質(zhì)譜檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。

1、檢漏閥：接在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些氦質(zhì)譜檢漏儀采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

2、真空規(guī)：一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī)，又稱冷規(guī))來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

3、標準漏孔：一般氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)都附有標準漏孔(大多為薄膜滲氦型)，用它來校準氦質(zhì)譜檢漏儀的Z小可檢漏率和對氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示進行定標。

氦質(zhì)譜檢漏儀的進展

（1）便攜式：各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。

（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。氦質(zhì)譜檢漏儀由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。

（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。

6.使用時，注意觀察儀器的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。