凈化車間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

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       每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的1級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于1級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

       車間的地面要用防滑，堅(jiān)固，不滲水，易清潔，耐腐蝕的材料鋪制，凈化車間地面表面要平坦，不積水。車間整個(gè)地面的水平在設(shè)計(jì)和建造時(shí)應(yīng)該比廠區(qū)的地面水平略高，地面有的斜坡度。

      車間的墻面應(yīng)該鋪有2 米以上的墻裙，墻面用耐腐蝕，易清洗消毒，堅(jiān)固，不滲水的材料鋪制及用淺色，無毒，防水，防霉，不易脫落，可清洗的材料覆涂。凈化車間的墻角，地角和頂角曲率半徑不小于3厘米呈弧形。凈化車間的頂面用的材料要便于清潔，有水蒸氣產(chǎn)生的作業(yè)區(qū)域，頂面所用的材料還要不易凝結(jié)水球，在建造時(shí)要形成適當(dāng)?shù)幕《?，以防冷凝水滴落到產(chǎn)品上。車間門窗有防蟲，防塵及防鼠設(shè)施，所用材料應(yīng)耐腐蝕易清洗。窗臺(tái)離地面不少于1米，并有45 度斜面。