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發(fā)布時(shí)間:2020-09-15 12:50  
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凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
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潔凈室彩鋼板安裝前的放線工作,應(yīng)在地(樓)面完成后進(jìn)行,并在具備安裝的其它相關(guān)條件如較大設(shè)備已運(yùn)到位、暗敷地面管線已調(diào)整完及技術(shù)夾層主要安裝工作基本完成,才可以進(jìn)行。放線是在地面上劃出彩鋼板水平投影(50mm寬)及門(mén)、窗位置。上下馬槽中心線應(yīng)在同一垂直面上誤差應(yīng)在1.0%以內(nèi)即3mm。
裝上下馬槽,下馬槽一般采用帶有內(nèi)外R角的鋁合金型材。用固定于地面所畫(huà)的線上,的位置以直線1.2-1.5m間距,轉(zhuǎn)角及終端距邊0.2m為宜,采用止水橡膠條的在之前把兩條膠條(Ф2-3)放入槽下,在固定后形成防水隔離封閉。
上馬槽為壓制槽鋁,硬吊頂時(shí)用固定在頂板上,軟吊頂時(shí)采用吊桿懸吊在層面下,高度以吊頂凈高為準(zhǔn)。
車間的地面要用防滑,堅(jiān)固,不滲水,易清潔,耐腐蝕的材料鋪制,凈化車間地面表面要平坦,不積水。車間整個(gè)地面的水平在設(shè)計(jì)和建造時(shí)應(yīng)該比廠區(qū)的地面水平略高,地面有的斜坡度。
車間的墻面應(yīng)該鋪有2 米以上的墻裙,墻面用耐腐蝕,易清洗消毒,堅(jiān)固,不滲水的材料鋪制及用淺色,無(wú)毒,防水,防霉,不易脫落,可清洗的材料覆涂。凈化車間的墻角,地角和頂角曲率半徑不小于3厘米呈弧形。凈化車間的頂面用的材料要便于清潔,有水蒸氣產(chǎn)生的作業(yè)區(qū)域,頂面所用的材料還要不易凝結(jié)水球,在建造時(shí)要形成適當(dāng)?shù)幕《龋苑览淠温涞疆a(chǎn)品上。車間門(mén)窗有防蟲(chóng),防塵及防鼠設(shè)施,所用材料應(yīng)耐腐蝕易清洗。窗臺(tái)離地面不少于1米,并有45 度斜面。
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