提高強度和防腐蝕

近年來磁性材料的發(fā)展出現(xiàn)了燒結(jié)和粘結(jié)釹鐵硼元件，它可制成很小的形狀，使用Parylene涂敷工藝具有很突出的優(yōu)良性。小型釹鐵硼磁性器件是易碎的，添加Parylene涂層另一個優(yōu)點是還可增加強度。釹鐵硼材料對來自大氣中的潮濕產(chǎn)生的腐蝕也是很敏感的，Parylene較低的水汽透過率還提供了優(yōu)異的防潮抗腐蝕防護。

一種低費用有效工藝

Parylene涂敷還能降低加工處理及勞動力的費用。因為它能用臥式機系統(tǒng)同時一批涂敷成千上萬個工件進行VDP工藝處理，這點與滾筒式電鍍相似。這種新技術(shù)開發(fā)和工程師設(shè)計師合適的使用現(xiàn)有技術(shù)及新的工具，將會有可能較好的解決當(dāng)前遇到的一些復(fù)雜的問題。

帕利靈(Parylene)是一族由對二合成的熱塑性塑料聚合物的通稱。它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數(shù)百微米內(nèi)任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無微孔無缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。由于真空沉積不使用催化劑和溶劑，產(chǎn)出的薄膜很純凈，釋氣量很小。有3種成熟的帕利靈材料：C型、D型和N型，帕利靈C透水性和透氣性比其他兩種小很多，應(yīng)用廣泛。帕利靈C在溫度300K時太赫茲頻段的折射率大約為1.62，4.5K時降低到約1.5141。吸收系數(shù)約為數(shù)10cm-1量級。帕利靈C的這些特性使之成為硅、鍺材質(zhì)的透鏡和窗口的合適的抗反鍍膜材料。

真空鍍膜主要分為一下幾類：

蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。

薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。

對于大面積鍍膜，常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。