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真空鍍膜系統(tǒng)報價優(yōu)選商家「在線咨詢」

發(fā)布時間:2021-01-01 15:00  

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ST系列鍍膜機

ST系列鍍膜機系我司標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應(yīng)您的特殊需要。特點:1、集成一體化結(jié)構(gòu)。

2、極限真空度高,可達(dá)7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質(zhì)量。

3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后真空度:≤8Pa。

4、整機采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。

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CT系列鍍膜機

CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標(biāo)定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨設(shè)計,滿足您的特殊需要。

特點:1、按需開發(fā),量身定制。

2、整機采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。

3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選

4、可集成手套箱系統(tǒng)

5、可集成多種自動化應(yīng)用

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真空鍍膜機的真空室設(shè)計方法

真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。

真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計不能馬虎,要注意一些問題。

使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,厚度需要足夠。

焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,保證焊接之后的真空室不會產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計焊接結(jié)構(gòu),提高焊接質(zhì)量,處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。


真空鍍膜機檢漏

要承認(rèn)漏氣究竟的虛漏仍是實漏,因為工件資料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。

第二,測驗好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。

第三,查看漏孔的巨細(xì),形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。

第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進(jìn)步檢漏的準(zhǔn)確性。

第五,掌握檢漏儀器的反應(yīng)時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費。

第六,還要防止漏孔阻塞,有時因為操作失誤,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當(dāng)這些阻塞物因為內(nèi)外壓強區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。