近年，在這些規(guī)則規(guī)模中堅持處理空氣進程，使咱們必需承擔(dān)資金和運營本錢?？墒菫槭裁粗档没ㄙM這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對濕度呢？道理很簡單，因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素，其間包含：1、細(xì)菌成長；2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模；3、出現(xiàn)靜電荷；4、金屬腐蝕；5、水汽冷凝；6、光刻的退貨；7、吸水性。

相對濕度在35%－40%之間能夠作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進程，將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時，高濕度能夠使反響加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護形的氧化物，并阻止進一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

控制潔凈室環(huán)境中的微生物含量仍然是靠良好的空氣凈化系統(tǒng)設(shè)施，其過濾效率可以達到99.9%～99.99%地濾除空氣中的細(xì)菌和塵埃。生產(chǎn)中潔凈室內(nèi)溫度嚴(yán)格控制在18～26℃、相對濕度控制在45%～65%，以破壞有利于細(xì)菌的生長條件，加之消毒液的清潔消毒，環(huán)境控制效果令人滿意。關(guān)于日常消毒液消毒，每天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液擦拭機臺、桌面、門窗、墻壁等，用3%～5%的來蘇兒對地面擦拭消毒。每3天生產(chǎn)結(jié)束后，用75%乙醇或2‰新潔爾滅溶液對潔凈室內(nèi)所有設(shè)施表面及頂棚、照明等表面進行擦拭消毒， 3%～5%的來蘇兒對地面進行消毒，目的是因生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細(xì)菌繁殖體，控制潔凈室內(nèi)微生物含量。這些措施僅能控制潔凈室內(nèi)空氣中的細(xì)菌量及雜類，如果霉菌較多，就要先用5%石碳酸噴灑室內(nèi)，然后用甲醛熏蒸才能達到無菌效果，而且只有這樣才能細(xì)菌、雜菌芽孢。每個生產(chǎn)周期結(jié)束，下個周期生產(chǎn)前對有無菌要求的潔凈室先進行消毒液消毒，檢測潔凈室內(nèi)塵埃粒子數(shù)符合規(guī)定后，再對潔凈室內(nèi)進行甲醛氣體熏蒸，從長期檢測的結(jié)果來看，這種環(huán)境滅菌方法效果很好。