頭部集成了薄膜厚度測(cè)量所需功能

通過(guò)顯微光譜法測(cè)量高i精度絕i對(duì)反射率（多層膜厚度，光學(xué)常數(shù)）

1點(diǎn)1秒高速測(cè)量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外至近紅外）

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)?，初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測(cè)量頭對(duì)應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測(cè)量項(xiàng)目：

絕i對(duì)反射率測(cè)量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析（n：折射率，k：消光系數(shù)）

大塚電子（蘇州）有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。歡迎新老客戶來(lái)電咨詢！

考慮到表面粗糙度測(cè)量的膜厚值[FE-0007]

當(dāng)樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時(shí)，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測(cè)量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。

膜厚測(cè)試儀的預(yù)熱 　　關(guān)機(jī)超過(guò)3個(gè)小時(shí)開(kāi)機(jī)必做。點(diǎn)擊“波數(shù)”，將波譜校準(zhǔn)片放入儀器，將Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，設(shè)定測(cè)量時(shí)間為6S重復(fù)測(cè)量次數(shù)為30~50次,點(diǎn)擊Go鍵，等待自動(dòng)連續(xù)測(cè)量完成。

膜厚儀是一種比較精密的監(jiān)測(cè)設(shè)備，它在平時(shí)的使用中對(duì)于精準(zhǔn)度的要求很高，但是還是會(huì)有誤差的現(xiàn)象發(fā)生，除了儀器本身的一些故障以外，環(huán)境因素也是造成誤差的一大“元兇”。