三維形貌測量系統(tǒng)

可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。

光學(xué)影像測量儀檢測是一種常見測量技術(shù)，通過提供了量化的圖像測量方式，獲得測量數(shù)據(jù)，從而對零部件公差尺寸進(jìn)行把控，是機(jī)械、電子制造業(yè)，計(jì)量測試所廣泛使用的一種多用途計(jì)量儀器。

影像測量儀的誤差來源有哪些呢？ （1）光柵尺記數(shù)的偏差; （2）操作臺挪動時(shí)存有的平行度、角擺產(chǎn)生的偏差; （3）操作臺兩精l確測量軸平整度帶的偏差; （4）攝像鏡頭直線光軸與操作臺不垂直帶的偏差; （5）精l確測量工作溫度轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的偏差; （6）燈源照明燈具標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)變產(chǎn)生的自動對焦和指向偏差。

三維形貌測量儀對于樣品表面特性研究案例

材料科學(xué)的目標(biāo)是研究材料表面結(jié)構(gòu)對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學(xué)性能及表面質(zhì)量等相關(guān)參數(shù)具有重要意義。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)的NanoFocus測量系統(tǒng)適用于各種不同材料的測量需求，滿足滿足規(guī)格要求并使工藝流程優(yōu)化，這意味著在縮短開發(fā)時(shí)間的同時(shí)降低成本。

全自動影像測量儀的使用環(huán)境： 1.避振如果影像測量儀受到額外的周圍振動，測量精度將會降低。當(dāng)頻率小于10Hz時(shí)，周圍振動的振幅不應(yīng)該超過2μm（峰-峰差值）；當(dāng)頻率在10Hz到50Hz之間時(shí)，則加速度不應(yīng)超過0.4Gal。如果振動超過這些限制，應(yīng)該采用防振措施（例如安裝振動阻尼器）。2.無塵影像測量儀構(gòu)成組件必須保證無灰塵。雖然防塵罩對影像測量儀有一定的防護(hù)作用，但測量儀仍應(yīng)定期清潔。3.電源使用90～264VAC，47-63Hz，10Amp下的穩(wěn)定電源，以確保儀器正常運(yùn)行。