真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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機械系統(tǒng)主要由以下四個單元構成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內(nèi)對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進口產(chǎn)品，自動校準漏孔。技術成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進行連接，在真空箱門關閉后，系統(tǒng)能全自動的完成大漏檢測、工件強度檢測、抽空、充氦、檢漏、回收整個過程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。這種結構可能導致氣體注入過程與氣體朝泄漏點相對側滲漏過程之間存在相當長的延遲。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關真空箱門-----真空箱抽真空，同時工件內(nèi)充高壓氮氣-----大漏及強度檢測；B1：若A1檢測不通過，則系統(tǒng)報警，大漏工件序號顯示-----檢測程序中止；B2：若A1檢測通過，放掉氮氣------對工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測；C1：若B2檢測不通過，則系統(tǒng)報警-----循環(huán)檢，小漏工件序號顯示------檢測程序中止；C2：若B2檢測通過，真空箱內(nèi)充入大氣，同時工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開門，檢測完成。

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氧撿漏介紹

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真空計檢漏　根據(jù)相對真空計（熱導真空計和電離真空計等）的讀數(shù)檢漏的方法。真空計的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。通常，建議在機加工和酸洗工序結束之后、表面處理(比如涂漆、電化學鍍膜或氧化處理)之前進行泄漏檢查。示漏氣體進入系統(tǒng)后會引起真空計讀數(shù)的突然變化。熱導真空計可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏　圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構成一個間熱式二極規(guī)管。當加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時，鉑發(fā)出的正離子在負電場下到達陰極形成電流。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發(fā)射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應制成的。檢漏時將規(guī)管接到系統(tǒng)中，并將系統(tǒng)抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置。或與此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統(tǒng)內(nèi)，探測槍在被檢零部件外表移動，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質(zhì)譜檢漏　很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計作為檢漏工具，工作原理與真空質(zhì)譜計相同，差別僅在于氦質(zhì)譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因為它只檢測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結構簡單、靈敏度高、性能穩(wěn)定、操作方便等優(yōu)點。氦質(zhì)譜檢漏儀的結構如圖所示。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要技術指標有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應時間與清除時間，單位為秒；③工作壓強與極限壓強，單位為帕。