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發(fā)布時(shí)間:2021-09-10 10:36  
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高大上的電子氣體——特種氣體
我國特種氣體市場(chǎng)起步較晚,所以在技術(shù)領(lǐng)域較國外巨頭企業(yè)有一定的差距,也正是因?yàn)槿绱颂胤N氣體市場(chǎng)長(zhǎng)期被外企所壟斷。但近年來國內(nèi)電子氣體奮起直追,表現(xiàn)格外搶眼。
伴隨著國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,特別是21世紀(jì)后我國電子行業(yè)的突飛猛進(jìn),國內(nèi)特種氣體公司意識(shí)到了專有技術(shù)的重要性。我國在特種氣體生產(chǎn)、儲(chǔ)存等領(lǐng)域上取得了重要突破,特別是電子特氣目前基本實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)化,基本打破了國外企業(yè)的壟斷。
近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高,所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。

二、有毒氣體,半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等;
三、助燃?xì)怏w,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃?xì)怏w接觸,將幫助燃燒,應(yīng)在儲(chǔ)運(yùn)使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體;
四、還有氣體性質(zhì)穩(wěn)定,也無毒性,但當(dāng)它們排放在不通風(fēng)的場(chǎng)所時(shí),空氣中氧含量降到18%以下時(shí),因缺氧會(huì)使人呼吸困難,若不能及時(shí)解救也會(huì)有危險(xiǎn)甚至,這類氣體有氮?dú)?、氬氣二氧化碳、氦氣等?
五、腐蝕性氣體,通常遇水就顯示其腐蝕性,如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時(shí)兼有多種性質(zhì),在這些氣體輸送、儲(chǔ)運(yùn)、使用中應(yīng)予重視。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用高純氣體不僅種類多,而且更重要的是對(duì)氣體品質(zhì)在很嚴(yán)格的要求。
