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發(fā)布時(shí)間:2021-01-08 21:47  

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視頻作者:深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司






真空泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。環(huán)境溫度:真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對(duì)溫度的環(huán)境內(nèi)使用。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

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特點(diǎn)(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性,故振動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤(rùn)滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動(dòng)功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤(rùn)滑,可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染;(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;(5)壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。



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深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少?gòu)濐^。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。真空系統(tǒng)常用名稱①主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到j(luò)ia配置,選擇真空系統(tǒng)時(shí),應(yīng)考慮下述各點(diǎn):首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的jia工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。



真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高,但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造,集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。主營(yíng)產(chǎn)品:真空設(shè)備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統(tǒng),非標(biāo)真空設(shè)備,真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

氦氣質(zhì)譜分析儀:該方法就是在負(fù)壓法的基礎(chǔ)上,采用質(zhì)譜儀來進(jìn)行檢漏,其連接方式有多種,根據(jù)實(shí)際的使用,對(duì)為通用和檢漏本Di的方式進(jìn)行說明,該方法可以對(duì)漏點(diǎn)進(jìn)行位置的確定和泄漏量的判斷。

其工作原理為:開始主要由真空系統(tǒng)對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到檢漏儀起測(cè)點(diǎn)后,開啟檢漏儀,檢漏儀本身也是一組由小型分子泵和機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng),其開啟后也參與腔體的抽氣工作,此時(shí),檢測(cè)人員,就可以采用氦氣對(duì)腔體中所有接口及焊縫進(jìn)行吹氣,如果有漏點(diǎn)存在,當(dāng)氦氣經(jīng)過此位置時(shí),就會(huì)有少量的氦氣隨同空氣進(jìn)入腔體,再由真空管路抽走,此時(shí),會(huì)有少量的氦氣進(jìn)入檢漏儀中,檢漏儀內(nèi)部的氦氣質(zhì)譜儀,就會(huì)檢測(cè)到氦氣的存在,通過報(bào)警器發(fā)出報(bào)警,提示檢測(cè)人員在此位置附近存在泄漏點(diǎn)。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。由于,氦氣的密度小,在大氣中其會(huì)向上飄散,故此,在吹氣檢測(cè)時(shí),應(yīng)從設(shè)備上部開始吹氣,以便漏點(diǎn)的位置確定。在進(jìn)行雙層夾套的檢漏時(shí),可以將夾套作為獨(dú)立的腔體進(jìn)行單獨(dú)抽真空檢漏,實(shí)現(xiàn)對(duì)內(nèi)外壁的一次性檢測(cè)。由于目前檢漏儀技術(shù)足以做到使真空系統(tǒng)的漏氣量遠(yuǎn)小于系統(tǒng)的放氣量,因此真空系統(tǒng)所需要的真空泵的大小主要取決于真空系統(tǒng)所使用的材料放氣率的大小。所以,針對(duì)不同類型的內(nèi)膽材料需要真空泵的抽速也會(huì)不盡相同。

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