普旭真空泵油的正確存放方式

真空泵要避免抽除溶劑、水蒸氣和有腐蝕性氣體等，用的時候一定要經(jīng)常檢查，經(jīng)常換油。

在更換真空泵油前應(yīng)該將真空泵體內(nèi)用過的舊油排放干凈，把新的真空泵油倒進去前應(yīng)慢慢轉(zhuǎn)動泵軸，清掃泵腔排完舊油，重復(fù)清洗數(shù)次，等洗凈后再換入新油。

給真空泵加油的時候一定是專用的設(shè)備，不能是其他真空泵油用過的容器或者溶劑。

酯油和礦物油或者其他合成油在互換時，要把真空泵拆開然后洗干凈。八、要是吸入化學氣體及溶劑，對真空泵油污染影響真空后，就一定要清洗換油。

對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹l底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

　　愛發(fā)科真空泵油的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學工業(yè)、醫(yī)l藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有l機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

真空泵油的主要性能

真空泵油， 極限總壓強和的極限分壓力

　　極限的總壓力:皮拉尼真空計和熱電偶真空計測量所有材料真空泵(氣)總壓強。目前，測試強調(diào)總壓強指數(shù)。

　　極限的分壓力:水星壓縮真空計(麥克勞德壓力計)限制空氣測量泵壓力，雙旋轉(zhuǎn)葉片泵壓力應(yīng)小于6 * 10-5kPa?？倝簭娭g的區(qū)別和極限壓力不超過一個數(shù)量級。兩者之間的差異越大，真空泵油含有更多的揮發(fā)性成分，油的性質(zhì)就越低。