在線在機(jī)測(cè)量技術(shù)成為大批量生產(chǎn)時(shí)保證加工質(zhì)量的重要手段。計(jì)量型儀器進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)、融入生產(chǎn)線，監(jiān)控生產(chǎn)過(guò)程。儀器本身的可靠性、有效率、高精度以及質(zhì)量統(tǒng)計(jì)功能、故障診斷功能進(jìn)一步提高，滿足了在線測(cè)量的要求。高精度數(shù)字化傳感器的測(cè)量精度已實(shí)現(xiàn)從微米級(jí)向納米級(jí)的提升；數(shù)字化測(cè)量?jī)x器與機(jī)床集成進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，組成數(shù)字化加工系統(tǒng)：數(shù)控集成誤差、工件毛坯安裝誤差及其環(huán)境誤差的軟件補(bǔ)償技術(shù)得到進(jìn)一步推廣應(yīng)用；非接觸式掃描、視頻測(cè)量技術(shù)和儀器備受重視；測(cè)量信息的無(wú)線傳輸和網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程服務(wù)，進(jìn)一步將被動(dòng)型質(zhì)量檢測(cè)轉(zhuǎn)換為主動(dòng)型質(zhì)量控制。美國(guó)Brown&Sharp公司的Bravo-NT 測(cè)量機(jī)可在汽車(chē)生產(chǎn)線上對(duì)車(chē)身尺寸實(shí)施在線測(cè)量并充分滿足汽車(chē)生產(chǎn)線對(duì)測(cè)量節(jié)拍、測(cè)量精度和測(cè)量可靠性的要求；德國(guó)Kapp公司磨齒機(jī)的機(jī)載齒輪測(cè)量裝置將測(cè)量系統(tǒng)和機(jī)床集成一體，可在工件試磨后馬上進(jìn)行在機(jī)檢測(cè)，測(cè)量信息處理后能反饋至機(jī)床，及時(shí)修正加工參數(shù)。特別有利于大型、重型齒輪和大批量齒輪的成形磨削加工。

善測(cè)（天津）科技有限公司位于天津市西青學(xué)府工業(yè)區(qū)，于 2015年 7 月份成立，公司注冊(cè)資本 500 萬(wàn)，是一家集研發(fā)生產(chǎn)一體的高科技公司。公司借助天津大學(xué)儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科及精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的資源平臺(tái)和技術(shù)優(yōu)勢(shì)，由從事儀器領(lǐng)域科學(xué)研究及產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的教授和工程師共同創(chuàng)立，專業(yè)從事先進(jìn)傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售和服務(wù)，為航空國(guó)防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。     

科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室在納米級(jí)高精度檢焦系統(tǒng)方法研究中取得新進(jìn)展：提出了一種雙光路光強(qiáng)調(diào)制光柵檢焦方法，該方法利用兩光路的信號(hào)比求解硅片的離焦量，消除了光強(qiáng)波動(dòng)導(dǎo)致的測(cè)量誤差，具有納米量級(jí)的測(cè)量精度，在光刻領(lǐng)域具有很大的應(yīng)用價(jià)值。相關(guān)結(jié)果發(fā)表于近期的IEEE Photonics。

隨著近幾年世界經(jīng)濟(jì)格局的變化和我國(guó)經(jīng)濟(jì)技術(shù)高速發(fā)展的趨勢(shì)，我國(guó)的機(jī)械科學(xué)和制造系統(tǒng)也發(fā)生了新的變革。數(shù)字和智能化制造、微機(jī)電系統(tǒng)、極端制造、復(fù)雜機(jī)電系統(tǒng)、生物制造、綠色制造等新型機(jī)械系統(tǒng)、設(shè)計(jì)理念、制造工藝和技術(shù)正逐漸由概念走向成熟和工程應(yīng)用，新的測(cè)量問(wèn)題不斷出現(xiàn)，測(cè)量在機(jī)械系統(tǒng)及制造過(guò)程的作用和地位不斷提高，機(jī)械制造中測(cè)量技術(shù)的研究面臨新的發(fā)展機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

超高的定位精度，在超過(guò)厘米以上的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)仍能保證納米以下的定位精度。2016世界機(jī)器人大會(huì)上，由哈工大機(jī)器人集團(tuán)研制的具備位移反饋傳感器的納米操作機(jī)器人引發(fā)了人們的關(guān)注。

納米操作機(jī)器人具備位置檢測(cè)傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)可編程運(yùn)動(dòng)，并具備多種功能強(qiáng)大的附加模塊。與傳統(tǒng)機(jī)器人相比，納米操作機(jī)器人具有超級(jí)靈敏、超高精準(zhǔn)等特點(diǎn)，可以在極微小尺度下完成傳統(tǒng)機(jī)器人無(wú)法實(shí)現(xiàn)的各種觀測(cè)、表征和操控作業(yè)，堪稱“無(wú)微不至”。

納米技術(shù)近年來(lái)一直是科技發(fā)展的制高點(diǎn)之一，加拿大工程院院士、多倫多大學(xué)教授孫鈺表示，過(guò)去的十年微納機(jī)器人取得了巨大進(jìn)展，在自動(dòng)化控制、生物醫(yī)學(xué)、納米制造等領(lǐng)域都有許多重要的研究和突破。