無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項(xiàng)目的成功，現(xiàn)場(chǎng)的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對(duì)于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房?jī)?nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對(duì)一期主廠房?jī)?nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項(xiàng)目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實(shí)力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費(fèi)咨詢、設(shè)計(jì)，可就近安排去感興趣的工程項(xiàng)目實(shí)地參觀考察

無塵室內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備應(yīng)注意的重點(diǎn)

a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。

b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。

c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。

d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。

e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過濾設(shè)備。

f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。

3.自動(dòng)化與無塵化：

a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。

b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入無塵室人員的資格限定，無塵室作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，無塵室管理規(guī)則等。