基本功能:操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接，在真空箱門關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測(cè)、工件強(qiáng)度檢測(cè)、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過(guò)程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。

工藝流程:A1：安裝工件-----關(guān)真空箱門-----真空箱抽真空，同時(shí)工件內(nèi)充高壓氮?dú)?----大漏及強(qiáng)度檢測(cè)；B1：若A1檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警，大漏工件序號(hào)顯示-----檢測(cè)程序中止；B2：若A1檢測(cè)通過(guò)，放掉氮?dú)?-----對(duì)工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測(cè)；C1：若B2檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警-----循環(huán)檢，小漏工件序號(hào)顯示------檢測(cè)程序中止；C2：若B2檢測(cè)通過(guò)，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開(kāi)門，檢測(cè)完成。

真空箱氦檢漏回收設(shè)備的基本原理描述如下:燈絲產(chǎn)生的熱電子加速流入陽(yáng)極，遇到氣體分子后電離。當(dāng)離子向收集器方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，設(shè)置一個(gè)磁場(chǎng)，使離子在洛倫茲力的作用下沿圓形軌跡運(yùn)動(dòng)。質(zhì)量為m、電荷為e的離子的圓軌道半徑與質(zhì)荷比m/e有關(guān)。適當(dāng)設(shè)置出氣口的位置，使m/e=4，即He 可以通過(guò)出氣口，而與氦不同質(zhì)荷比的其他離子不能通過(guò)出氣口。由于其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的狹縫設(shè)置不同，真空箱的氦檢漏回收裝置只能檢測(cè)一價(jià)氦離子。真空箱氦氣檢漏回收裝置性能穩(wěn)定，靈敏度高。評(píng)價(jià)真空箱氦氣檢漏回收設(shè)備的主要指標(biāo)是靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、

追加檢漏：產(chǎn)品裝配檢驗(yàn)完成出廠前可使用摳罩法（扣罩24h后）配合撿漏儀進(jìn)行，通常采用局部包扎法。充氣柜檢漏對(duì)于高壓和超高壓設(shè)備，為降低柜體內(nèi)微水量，可采用繼續(xù)保壓6-10小時(shí)繼續(xù)抽真空，來(lái)降低微水值。 檢漏一般分兩步，一確定是否有漏，二找漏點(diǎn)； 確定是否有漏，建議采用包扎法，將被檢充氣柜用整體塑料袋密封包扎，24小時(shí)后檢測(cè)是否發(fā)現(xiàn)被檢134A;對(duì)于泄漏值由于已經(jīng)采用了1%的134A，建議以1PPM為警戒范圍，當(dāng)然各使用方可根據(jù)自己企業(yè)精度要求確定檢漏合格線；