對(duì)于無(wú)塵室生產(chǎn)車(chē)間來(lái)說(shuō)，灰塵的污染是一種，還有就是靜電的傷害，特別對(duì)電子等產(chǎn)品，靜電的危害極大，一不小心就被靜電損傷到，這時(shí)候使用防靜電無(wú)塵布可以有效地將電子元件表面出現(xiàn)的污漬處理干凈還能夠保護(hù)好電子元件免受靜電的危害。門(mén)窗與內(nèi)墻而要平直，結(jié)構(gòu)要充分考慮對(duì)空氣和水汽的密封，使污染粒子不易從外部滲入，防止由于室內(nèi)外溫差而產(chǎn)生結(jié)露。

無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量計(jì)算與一般空調(diào)的不同。一般空調(diào)(全空氣系統(tǒng))的送風(fēng)量是根據(jù)計(jì)算出的熱濕負(fù)荷，選取經(jīng)濟(jì)的送風(fēng)溫差，按消除余熱、余濕來(lái)計(jì)算送風(fēng)量。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A1級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。

　　而無(wú)塵車(chē)間的送風(fēng)量計(jì)算一般不依賴(lài)于熱濕負(fù)荷，它主要是根據(jù)不同的潔凈度按斷面平均風(fēng)速或換氣次數(shù)來(lái)計(jì)算送風(fēng)量。必要時(shí)，再用熱濕負(fù)荷進(jìn)行送風(fēng)量的校核計(jì)算，一般情況下都能滿(mǎn)足消除余熱、余濕的要求。也就是按斷面平均風(fēng)速或換氣次數(shù)計(jì)算的送風(fēng)量通常要大于按消除余熱、余濕計(jì)算的送風(fēng)量。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的最1好凈化設(shè)備之一，它可以最1大限度地減少員工進(jìn)出無(wú)塵潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。

無(wú)塵車(chē)間潔凈室行業(yè)術(shù)語(yǔ)1、潔凈室空氣懸浮粒子濃度受控的房間，它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。2、潔凈區(qū)潔凈區(qū)又稱(chēng)潔凈棚，是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開(kāi)放式或封閉式。3、移動(dòng)式潔凈小室移動(dòng)式潔凈小室又稱(chēng)為移動(dòng)式潔凈棚，可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室，有剛性和柔性材料圍擋兩類(lèi)4、人身凈化室人身凈化室又稱(chēng)風(fēng)淋室，是人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。5、物料凈化用室物料凈化用室又稱(chēng)貨淋室，是物料進(jìn)行入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。6、粒徑粒徑是給定粒徑測(cè)定儀所顯示的與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐沃睆健?、懸浮粒子懸浮粒子用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1-5UM的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理 性、化學(xué)性、放1射性及生命體。8、超微粒子超微粒子是具有當(dāng)量直徑小于0.1UM的粒子。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。9、微粒子微粒子是具有當(dāng)量直徑大于5UM的粒子10、粒徑分布粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。