自動控制系統(tǒng):包括溫度控制

自動控制系統(tǒng)：包括溫度控制，溫度控制，風量風壓控制，開啟順序和時間控制;電氣系統(tǒng)：照明，電力和弱電，包括凈化燈，插座，電氣柜，線路，監(jiān)控，電話等強弱系統(tǒng);給排水系統(tǒng)：供水，排水管道，設施和控制裝置;地面系統(tǒng)：環(huán)氧樹脂通常用于清潔地面。 信封結構系統(tǒng)：簡單來說，它是頂部，墻壁和地面，即構成三維受限空間的六個面。精美，包括門窗，裝飾弧等;管道系統(tǒng)：包括供氣，回風，新風，排風管，端部和控制裝置;

潔凈技術又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術

潔凈技術又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術，是近些年隨著高新技術發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學技術。潔凈技術通常包括：空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜志控制技術、潔凈環(huán)境的檢測技術及相關的環(huán)境的控制技術。凈化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領域及現(xiàn)代科學領域中得到廣泛應用。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素

使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素 相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚，呼吸道不適以及情感上的不快。 高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累，較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。 相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。