FTS需在原數(shù)控系統(tǒng)上增加專用伺服控制系統(tǒng)，由此增加了系統(tǒng)的復雜度。由于采用隨動方式，主動的主軸位置控制精度要求相對不高，但系統(tǒng)的隨動精度性能要求很高。某些類光學自由曲面元件雖然曲面矢高較大，但曲面變化較為平緩。加工這類曲面，刀具直線運動速度和加速度都不大。這時，可采用慢速拖板伺服（S3—Slow Slide Servo）超精密加工技術，即XZC聯(lián)動加工。天河精加工價格服務熱線。

       為了獲得光學級的超精密加工質量，除了要求直線軸具有很高的控制分辨率和精度外，還特別要求C軸具有極高的角度控制分辨率（如達0.06″）和精度。航空航天設計中，減少阻力是的。以前的、飛機光學系統(tǒng)設計師只能采用球、平面形狀光學零件設計技術，而球、平面形狀會引入空氣阻力。飛機和上符合理想設計的保形窗口會大幅度地降低空氣阻力。天河精加工價格服務熱線。

      伺服運動控制器除了具有高分辨率、高實時性要求外，在控制方程及模式技術上也需不斷進步。實驗證明：研制系統(tǒng)進行曲面加工控制時，伺服運動控制器執(zhí)行一階無差、二階有差控制，刀具軌跡動態(tài)跟蹤有滯后現(xiàn)象。這種滯后量雖小，精密加工可不計，但超精密加工中不可忽略。天河精加工價格服務熱線。

         從加工精度和效能出發(fā)，數(shù)控系統(tǒng)除了滿足超精密機床控制顯示分辨率、精度、實時性等要求，還需擴展機測量、對刀、補償?shù)仍S多輔助功能。因為通用數(shù)控系統(tǒng)難以滿足要求，所以國外的超精密機床現(xiàn)在基本都采用PC與運動控制器相結合研制開放式CNC數(shù)控系統(tǒng)模式。這種模式既可使數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)高的軸控性能，還可獲得高的功能可擴充性。天河精加工價格服務熱線。

      超精加工與一般精度加工不同，加工需輔以測量反復迭代進行。為了減少工件再定位引入的安裝誤差，或解決大尺寸、復雜型面無有效測量儀器問題，機床在機需配置各種光學、電子測量儀器和補償處理手段。對此，PC與運動控制器相結合的開放式CNC數(shù)控系統(tǒng)可發(fā)揮其優(yōu)勢。天河精加工價格服務熱線。

       振動對超精密加工的影響非常明顯。機床隔振需采取特殊的地基處理和機床本體氣浮隔振復合措施。氣浮隔振系統(tǒng)采用具有位置控制的主動式氣墊。LODTM機床支撐在4個氣墊上，并形成3點動態(tài)可調平支撐。機床體氣浮隔振系統(tǒng)還需具備自動調平功能，以防止機床加工中水平狀態(tài)變化對加工的影響。對于LODTM隔振要求高的機床，隔振系統(tǒng)的自然頻率要求在1Hz以下。天河精加工價格服務熱線。

     超精加工所能達到的表面質量、面形精度與元件尺寸、形狀、材料相關。未來反映機床精度水平的LODTM，加工精度穩(wěn)定達到，表面粗糙度在1~5nm,面形精度可達亞微米（工件尺寸≥φ1000mm）。對于具有復合加工功能的機床，輔以測量技術還可進一步從加工工藝上提。天河精加工價格服務熱線。

        關于大尺度的發(fā)展應用，如適應未來空、強激光輕質、高剛性金屬基主反射鏡加工的超大型SLODTM機床；地基超大口徑深空望遠鏡（如歐洲的Euro50（φ50m）、OWL（φ100m））拼接式離軸非球面鏡（數(shù)米尺寸）加工的多軸超精密磨削加工等（圖3）。近年來，太赫茲（THz）作為一門新興技術得到了廣泛重視。太赫茲頻譜介于微波與紅外之間。太赫茲的獨特性能給反隱身探測、電子對抗、電磁、寬帶通信、天文學、醫(yī)學成像、無損檢測、安全檢查等領域帶來了深遠的影響。太赫茲是未來超精密加工技術與機床廣泛和重要的應用領域。天河精加工價格服務熱線。