流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。質量流量控制器原理質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。應用于高壓氣體時流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因為這樣便于做到調零的零偏置。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器

熱式質量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質量流量。

當流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。二、設備在使用條件上必須進行零點標定，該設備時屬于在線使用高精的測量儀表，長期使用時一定要定期的進行標定。由于恒定溫差法較為簡單、易實現，所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內部通過。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓,適當調節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。

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選擇產品和訂貨時應當注意

注意選擇合適的響應時間指標

有的應用系統(tǒng)對MFC的響應時間有較高的要求，用戶應根據自己的情況加以考慮。在考慮響應時間指標的同時，還應注意其響應過程及動態(tài)特性。

注意對安裝位置有無要求

有的廠家的產品要求必須水平位置安裝。

注意使用氣體和適用范圍

MFM/MFC 對使用的環(huán)境及介質溫度﹑氣源壓力﹑介質（特別是使用對腐蝕性氣體）情況等均有一定適用范圍，請注意閱讀說明書或向廠家咨詢。

注意接頭形式

通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應用。

訂貨應注明：

產品名稱、型號、流量規(guī)格、標定氣體、使用氣體（特別是腐蝕性氣體）、接頭形式和數量。

怎樣進行不同氣體的質量流量換算？

產品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體（氮氣）的質量流量轉換系數。

如果您使用的產品是標準出廠產品（按氮氣標定顯示），而需要知道實際使用氣體的質量流量時，先在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數。如果您恰好在進行棘手、具有挑戰(zhàn)性的流量或壓力相關項目，那么，這是一個選擇ALICAT質量流量計、質量流量控制器的理由。在測量過程中，以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量；反之，在確定所購產品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數，即是相應的氮氣標定產品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉換系數約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產品，不必換算。