十萬級無塵車間的建筑圍護界區(qū)和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。無塵車間具有以下特性：一、無塵車間是空氣的潔凈度達到一定級別的可供人活動和生產的空間，其功能是能控制微粒的污染。十萬級無塵車間車間內墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒。

十萬級無塵車間內墻壁和頂棚的表面，應平整、光潔、無裂縫、接口嚴密，無顆粒物脫落，并應耐清洗和耐酸堿，墻壁和地面、吊頂結合處做成弧形，踢腳不宜高出墻面，當采用輕質材料融斷時，應采用防碰撞措施。

十萬級無塵車間的地面應整體性好、平整、耐磨、耐撞擊、不易積聚靜電、易除塵清洗，地面墊層應配筋，潮濕地區(qū)應做防潮處理。

十萬級無塵車間的建筑圍護界區(qū)和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。

技術夾層為輕質吊頂時，設置檢修通道。建筑風道和回風地溝的內表面裝修標準，應與整個送回風系統相適應并易于除塵。

千級無塵車間在設計上要考慮到以下幾個問題：

1、維護性

對千級無塵車間而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。 至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中1重要的為天花板，其包含HEPA及 ULPA等濾網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區(qū)域的小房間。

2、成本

微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來，產品也就能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。

3、適應性

一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致1極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關鍵，所以他們從不將1初的設計定型。

4、耐久性

無塵車間要有符合環(huán)境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。

5、清洗

無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性1病毒或細菌的污染之特性。在凈化工程市場，清洗真正地是一個1重要的企業(yè)。

1、無塵凈化車間工程必須與各專業(yè)工種間制定嚴格的施工程序，一般依次為：留洞打底、各專業(yè)安裝、內門窗安裝、修補洞口及周邊，基層打底，飾面抹灰和罩面板工程，嵌縫處理，油漆刷漿工程和裱糊工程。這表明無塵車間的潔凈不是一般的干凈，而是達到了一定的空氣潔凈度級別。

2、在無塵凈化車間裝修施工過程中，必須隨時清掃灰塵，對隱蔽空間(如吊頂和夾墻內部等)還應做好清掃工作;

3、密封膠嵌固前，應將基槽內的雜質，油污剔除干凈，并保持表面干燥。無塵車間工程臨時設置的設備入口不用時應封閉，防止塵土雜物進入。

4、應保護已完成的凈化車間工程表面，不得因撞擊，敲打，踩1踏，多水作業(yè)等造成板材凹陷，暗裂和表面裝飾的污染。塑料板材或卷材面層鋪貼前應預先按規(guī)格大小，厚薄分類，板材或卷材與地面之間應滿涂粘接劑，表面趕平，不得漏涂或殘存空氣。

5、施工現場應保證良好的通風和照明，對于改建工程，應查明和切斷原有電源及易1燃，易1爆和有毒氣體管線后方可施工，對工藝生產過程中使用的腐蝕性液體應有安全防護措施。

6、對已安裝過濾器的房間，不得進行有粉塵的作業(yè)。