氦質譜檢漏儀的原理

運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當位置安置接收所有這些離子，就會得到按照質荷比大小依次分開排列的質譜圖，這就是質譜。同時，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過，提高了儀器靈敏度。

用于檢漏的質譜儀稱為質譜檢漏儀。測量氣體分壓力的所有質譜計，如四極質譜計、射頻質譜計、飛行時間質譜計、回旋質譜計等都可以用于檢漏。

氦質譜檢漏儀的選擇

選擇氦質譜檢漏儀時主要考慮以下問題：

（1）儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸槍法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設置功能，不宜作為批量產品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有多工位的檢漏儀。

（2）儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內外生產的不同類型的氦質譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。

（3）被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。

（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。

（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。

（6）如果檢漏地點不固定，需要經常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。

（7）在滿足上述檢漏基本要求的基礎上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦質譜檢漏儀的檢漏方法

檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率，這些目的是通過采用一些標準的檢漏方法實現(xiàn)的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質來決定。

?負壓法

該方法是將被檢件接在檢漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對被檢件抽真空檢漏，然后用噴槍向可能泄漏處噴吹氦氣。當有漏孔存在時，氦氣通過漏孔進入氦質譜檢漏儀被定量檢測出。

氦質譜檢漏儀——檢漏方法

隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業(yè)對產品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。

氦質譜檢漏方法 ( 以下簡稱氦檢)以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和 設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將 設備完全抽成真空狀態(tài)， 往往會增加測試用設備( 如高、低壓真空泵、真空閥等)和設備工裝 ( 如 外壓加強圈)而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備;對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。（1）高壓開關在連箱是鋁鑄件，往往容易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。