相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

在無(wú)塵車間內(nèi)部的污染物質(zhì)就會(huì)因?yàn)榛ハ辔降闹亓康舻降厣?，從而降低空氣中的污染指?shù)，那么對(duì)于粉塵的控制和ru侵，我們需要做到哪些呢。在壓強(qiáng)上無(wú)塵車間需要遵守的原則如下：1、無(wú)塵車間的潔凈如果想要讓其壓強(qiáng)比相互接近的區(qū)域壓強(qiáng)變低。2、無(wú)塵車間相互連通的區(qū)域內(nèi)部的門戶需要朝向更別的潔凈空間。3、無(wú)塵車間內(nèi)部的氣體壓強(qiáng)需要比潔凈程度的壓強(qiáng)要高。

溫度測(cè)試是確認(rèn)空氣處理設(shè)施的溫度控制能力，溫度測(cè)試應(yīng)在凈化車間進(jìn)行調(diào)試，氣流均勻性測(cè)試完成，并在凈化空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行24H以上后進(jìn)行。凈化車間的溫度測(cè)試有功能溫度測(cè)試和一般溫度測(cè)試。功能溫度測(cè)試主要用于需嚴(yán)格控制溫度精度時(shí)或建設(shè)方要求在“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”進(jìn)行測(cè)試時(shí)應(yīng)用；一般溫度測(cè)試主要使用于“空態(tài)”時(shí)溫度測(cè)試。