渦旋真空泵的主要性能表征參數(shù)

5.1.1間隙大小

   間隙包括軸向間隙和徑向間隙。由于軸向間隙只是由設(shè)計精度、加工精度和

裝配精度進(jìn)行控制的，也比較容易控制，在此不做過多的介紹。而徑向間隙可以

由式((2.11)計算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽氣速率

   理論抽氣速率Sth是由泵的幾何尺寸、轉(zhuǎn)速和是否是雙側(cè)渦旋共同決定的一

個反映抽氣性能的參數(shù)，也叫幾何抽速。假設(shè)轉(zhuǎn)速為n(轉(zhuǎn)/秒)，并且該禍旋泵

為雙側(cè)渦旋，那么Sth可表達(dá)為下式:

                     S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分別為轉(zhuǎn)子和定子所形成的外層完整內(nèi)壓縮腔和外層完整外壓

縮腔的容積。、

   實際抽速是指泵實際排出氣的速率。由于渦旋無油泵存在著軸向和徑向泄

漏，其實際抽速S要低于理論抽速Sth，設(shè)P:為吸入口壓力，P:為排氣口壓力，

Q。為總泄漏，則〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

則實際抽速為

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3極限壓力

   渦旋式無油真空泵的極限壓力是指不進(jìn)入氣體長期運轉(zhuǎn)，在測試罩內(nèi)所能達(dá)

到的穩(wěn)定時的低壓力，用P。表示。此時泵的實際抽速S=O，令式((5.3)中的實際

抽速S=O，即可得極限壓力〔10)

(5.4)

真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動機理

  理論研究和試驗表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠(yuǎn)大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆?，同時局部會有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

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