潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)的濕度范圍為35—45%。

凈化工程俗稱(chēng)無(wú)塵車(chē)間、凈化車(chē)間、潔凈室等。其主要原理是排除一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒、有害空氣和細(xì)菌等污染物，并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動(dòng)、照明和靜電控制在要求的范圍內(nèi)。三、中途：待底涂干化后，再將配好的中涂料用鏝刀批刮在底涂上（根據(jù)地面基礎(chǔ)情況可批刮多遍）四、面涂：待中涂固化后，鏟去突起的顆粒等雜物，用滾筒把配好的面涂料滾涂在中涂上。主要是控制清潔度、溫度和濕度，改善工作環(huán)境，提高成品率。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。

云南賽達(dá)主要服務(wù)項(xiàng)目：

1、承建各種凈化級(jí)別、工藝要求、平面布局的空調(diào)凈化廠房、潔凈無(wú)塵實(shí)驗(yàn)室；

2、設(shè)計(jì)、建造食品廠凈化廠房，協(xié)助通過(guò)QS認(rèn)證；

3、承建相對(duì)負(fù)壓、高溫、防火防爆、隔音消聲、滅菌、排臭、抗靜電等特殊要求的凈化廠房；

4、承建凈化房相配套的照明、電器設(shè)施、動(dòng)力、電器控制系統(tǒng)及空調(diào)自動(dòng)控制系統(tǒng)；

5、承建恒溫恒濕凈化廠房系統(tǒng)、空調(diào)機(jī)房、冷凍機(jī)房；

6、承接凈化廠房配套的給排水、水處理及空氣處理系統(tǒng)；

7、承接凈化空調(diào)系統(tǒng)工程咨詢(xún)、調(diào)試、協(xié)助檢測(cè)。

風(fēng)淋室是人員進(jìn)入潔凈無(wú)塵車(chē)間所必備的凈化設(shè)備，通用性強(qiáng)，可與所有的潔凈室和潔凈廠房配套使用，工作人員進(jìn)入車(chē)間時(shí)，必須通過(guò)此設(shè)備，用強(qiáng)勁潔凈的空氣，由可旋轉(zhuǎn)噴嘴從各個(gè)方向噴射至人身上，有效而迅速清除去附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物，它可以減少人進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計(jì)量。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。工作人員將頭發(fā)，灰塵、細(xì)菌帶入車(chē)間，達(dá)到工作場(chǎng)地嚴(yán)格的無(wú)塵凈化標(biāo)準(zhǔn)，生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。