光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

     凈化工程的設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

    我國的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí)，潔凈廠房用設(shè)備和資料，如過濾器，潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入出產(chǎn)，雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距，但已能滿足國內(nèi)部分需求，到20世紀(jì)70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。

    凈化工程是一個(gè)體系工程，包含修建、裝修、凈化空調(diào)體系、通風(fēng)、水、氣、電體系，需求多專業(yè)多工種，依照交叉施工程序、互相配合，才干獲得成功。凈化工程是操控污染的工程，從一開端就要注重文明施工、注重污染操控，從著裝的逐漸深化，打掃的逐漸加強(qiáng)，搬入機(jī)具和資材的污染操控，的分階段操控，物流通道的逐漸減少，一直至完全操控。

    凈化工程有三個(gè)要害，即氣流組織、正壓操控、（過濾器）的運(yùn)用。我們需求從一開端就要特別注意這三個(gè)要害，并自始至終。