氣壓規(guī)定對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。


大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施，例如：夏季要降溫、去濕（因為夏季室外空氣是高溫、高濕的），冬季要加熱加濕（因為冬季室外空氣是寒冷干燥的，室內(nèi)濕度過低會產(chǎn)生靜電，靜電對電子產(chǎn)品的生產(chǎn)是致命的）。


在加濕問題上還有一個應(yīng)注意的問題就是空調(diào)器內(nèi)空氣流動帶水的問題。有的工程中由于加濕的帶水問題沒有處理好，結(jié)果后面的中效過濾器甚至過濾器都被攜帶的水打濕了。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題，要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。若加濕器設(shè)在空調(diào)器的風(fēng)機(jī)段內(nèi)，還應(yīng)采取措施避免凝結(jié)水滴到電機(jī)上，造成電機(jī)短路斷電。光學(xué)微電子凈化工程-潔凈車間技術(shù)解決方案