淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

關(guān)泵。

　　水環(huán)真空泵要停泵時，應(yīng)先關(guān)閉真空泵吸氣管路上的閥門，防止真空泵停泵后恢復(fù)常壓狀態(tài)，所吸的容器還是負(fù)壓狀態(tài)時，水箱出現(xiàn)回水現(xiàn)象。關(guān)閉進(jìn)水閥門后關(guān)閉電機(jī)，這樣是為了把真空泵泵腔里的水排出一部分，避免下次水環(huán)真空泵啟動時，泵腔內(nèi)水過多而造成電機(jī)的啟動負(fù)荷過大。

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上游的吸附劑雖然在裝填時通過篩選等步驟去掉了大部分粉塵，但是隨著運(yùn)行時間的增加和介質(zhì)氣流的沖刷，總會或多或少地產(chǎn)生新粉塵，而進(jìn)入水環(huán)式真空泵內(nèi)的粉塵隨時可能進(jìn)入機(jī)封的密封部位，對其造成損傷。

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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：

　　半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗，并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。

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