凈棚主要由箱體、風機、初效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成，外殼噴塑。該產(chǎn)品既可懸掛，又可地面支撐，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。可以單個使用，也可多個連接組成帶狀潔凈區(qū)域。?潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。?

濕度過高產(chǎn)生的問題更多，相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45%。

凈化棚風量和風速的檢測

凈化棚空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風量風速條件下獲得，而首先需必須進行風量風速的檢測。

1、選用套管法時，可用輕質(zhì)板材或膜材做成風口內(nèi)截面相同或相近、長度大于2倍風口邊長的直管段作為輔助風管，連接于過濾器風口外部，在套管出口平面上，均勻劃分小方格，方格邊長不大于200mm，在方格中心設(shè)測點。對于小風口，少測點數(shù)不少于6點。也可采用錐形套管，上口與風口內(nèi)截面相同或相近，下口面積不小于上口面積的一半，長度宜大于1。5倍風口邊長，側(cè)壁與垂直的傾斜角不宜大于7.5度，以測定截面平均風速，乘以測定截面凈面積算出風量。

2、對于風口上風側(cè)有較長的支管段且已經(jīng)或可以打孔時，可用風管法通過畢托管測出動壓，換算成風量。測定斷面距局部阻力部件距離，在局部阻力部件后者，距離局部阻力不少于5倍管徑或5倍大邊長度。在局部阻力部件前者，距離局部阻力不少于3倍管徑或3倍大邊長度。

3、選用帶流量計的風量罩法時，可直接得出風量。風量罩面積應(yīng)接近風口面積。測定時應(yīng)將風量罩口完全罩住過濾器或出風口，風量罩面積應(yīng)與風口面積對，風量罩邊與接觸面應(yīng)嚴密無泄漏。

4、對于矩形風管，測定截面應(yīng)按奇數(shù)分成縱、橫列，再在每一列上分成若干個相等垢小截面，每個小截面宜接近正方形，邊長不大于200mm，測點設(shè)于小截面中心。小管道截面上的測點數(shù)不宜少于6個。對于圓形風管，應(yīng)按等面積環(huán)法劃分測定截面和確定測點數(shù)。可在風管外壁針對劃分的每行方格中心上開孔，便于插入熱球風速儀測桿或畢托管。用畢托管時應(yīng)先測定動壓，然后確定風量。