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脈沖激光沉積設(shè)備廠家點擊了解更多「沈陽鵬程」

發(fā)布時間:2021-10-20 08:14  

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脈沖激光沉積介紹

脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。

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脈沖激光沉積簡介

隨著現(xiàn)代科學和技術(shù)的發(fā)展,薄膜科學已成為近年來迅速發(fā)展的學科領(lǐng)域之一,是凝聚態(tài)物理學和材料科學的一個重要研究領(lǐng)域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不僅具有豐富的物理內(nèi)涵,而且在微電子、光電子、超導材料等領(lǐng)域具有十分廣泛的應用。長期以來,人們發(fā)明了多種制膜技術(shù)和方法:真空蒸發(fā)沉積、離子束濺射、磁控濺射沉積、分子束外延、金屬有機化學氣相沉積、溶膠- 凝膠法等。上述方法各有特點,并在一些領(lǐng)域得到應用。但由于其各有局限性,仍然不能滿足薄膜研究的發(fā)展及多種薄膜制備的需要。想要了解更多沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司的相關(guān)信息,歡迎撥打圖片上的熱線電話。隨著激光技術(shù)和設(shè)備的發(fā)展,特別是高功率脈沖激光技術(shù)的發(fā)展,脈沖激光沉積(PLD)技術(shù)的特點逐漸被人們認識和接受

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PLD 主要選件

離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹

離子輔助沉積已經(jīng)成為在無規(guī)取向的基片或無定形基片上沉積雙軸結(jié)構(gòu)薄膜的一種重要技術(shù)。Neocera 開發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復雜材料方面的優(yōu)勢與IBAD 能力結(jié)合在一起。

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脈沖激光沉積的原理

脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來,再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。

脈沖激光沉積技術(shù)適合做的薄膜包括各種多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金屬薄膜,磁性材料等。