從加工方法的機理、特點和傳統(tǒng)來分類，精密和超精密加工又可分為傳統(tǒng)加工、非傳統(tǒng)加工和復合加工。傳統(tǒng)加工是指刀具切削加工、固結(jié)磨料和游離磨料的磨削加工；非傳統(tǒng)加工是指利用電能、磁能、聲能、光能、化學能和核能等對材料進行加工和處理；復合加工是采用多種加工方法的復合作用，進行優(yōu)勢互補，相輔相成。當前，在制造業(yè)中，占主要地位的仍是傳統(tǒng)加工方法。  在加工精度的量級上，精密加工是指加工精度為1～0.1?μm，表面粗糙度為0.1～0.025μm的加工技術(shù)，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技術(shù)。目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現(xiàn)了納米加工及其相應的技術(shù)。1、高精度精密電容測微儀預計在2017年中旬完成高、中、低檔產(chǎn)品系列化。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。隨著國家決策的科學化、民主化進程不斷深入，相信我國的制造業(yè)會更快速、更健康地發(fā)展。