真空泵的分類

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱谩?

變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。

動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?

變?nèi)菡婵毡糜址譃椋和鶑?fù)式，旋轉(zhuǎn)式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉(zhuǎn)子式），其它型式。

螺桿真空泵的原理

螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動，但無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）。

淺談螺桿真空泵

螺桿轉(zhuǎn)子是螺桿真空泵中關(guān)鍵的抽氣部件，直接決定著泵的工作性能和使用壽命，其加工制造成本約占整個螺桿泵總成本近一半。螺桿轉(zhuǎn)子的設(shè)計與制造則是整個螺桿泵生產(chǎn)中的關(guān)鍵技術(shù)之一，也是國內(nèi)各企業(yè)開發(fā)、研制螺桿真空泵過程中所普遍面臨的技術(shù)難題。由于螺桿真空泵螺桿轉(zhuǎn)子的設(shè)計理論尚不夠成熟，且有技術(shù)保密因素，致使關(guān)于螺桿真空泵轉(zhuǎn)子設(shè)計的公開資料十分稀少。國內(nèi)不同單位中從事螺桿真空泵開發(fā)研制的研究學(xué)者和技術(shù)人員，大多是從基礎(chǔ)原理出發(fā)，開展研究工作，發(fā)現(xiàn)和解決開發(fā)工作中所遇到的一個個技術(shù)難題，制約了國內(nèi)螺桿真空泵開發(fā)生產(chǎn)的速度與水平的提高。