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發(fā)布時(shí)間:2021-04-14 06:53  
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Parylene(中文稱:派拉綸、聚對,或派瑞林堤對一系列獨(dú)特的高聚物的一個(gè)通常的稱呼。這個(gè)家庭中基本的成員稱作Parylene,即聚對,是一種完全線性的高度結(jié)晶結(jié)構(gòu)的材料。Parylene用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝制備,由活性小分子在基材表面"生長"出完全敷形的聚合物薄膜涂層,它能涂敷到各種形狀的表面,包括尖銳的棱邊,裂縫里和內(nèi)表面。
Parylene N 是一種很好的介電材料,具有非常低的介質(zhì)損耗、高絕緣強(qiáng)度以及不隨頻率變化的介電常數(shù)。它是所 有Parylene中穿透能力的一種。具有很好的潤滑性。摩擦系數(shù)為0.25?符合ISO- 10993生物試驗(yàn)要求。符合UDP第六類塑料的生 物試驗(yàn)要求。
放電產(chǎn)生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點(diǎn)的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應(yīng)濺射法,即將反應(yīng)氣體 (O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應(yīng)氣體及其離子與靶原子或?yàn)R射原子發(fā)生反應(yīng)生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法。
電場對離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和離子對基片的濺射清洗作用,使膜層附著強(qiáng)度大大提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點(diǎn),并有很好的繞射性,可為形狀復(fù)雜的工件鍍膜。
真空鍍膜加工技能是一種新穎的資料組成與加工的新技能,是外表工程技能范疇的主要組成部分。真空鍍膜加工技能是使用物理、化學(xué)手法將固體外表涂復(fù)一層特殊功能的鍍膜,然后使固體外表具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、、防輻射、導(dǎo)電、導(dǎo)磁、絕緣和裝修等許多優(yōu)于固體資料本身的優(yōu)勝功能,到達(dá)提高商品質(zhì)量、延伸商品壽數(shù)、節(jié)約能源和取得明顯技能經(jīng)濟(jì)效益的效果。