淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉(zhuǎn)速度高達90000RPM（1500轉(zhuǎn)／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設(shè)計緊湊，體積小，重量輕。主要有兩個系列：STP和EXT，主要區(qū)別是EXT系列的回轉(zhuǎn)軸承是陶瓷的，而STP系列的回轉(zhuǎn)軸承是用磁性材料制成的。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。

五、羅茲泵

EDWARDS在全球早推出高抽速的羅茨泵，其抽氣率從240m3／h到4500m3／h，極限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽氣率，常串油式或干式泵使用

六、真空計

愛德華真空計測量范圍從2000-10-11mbar，內(nèi)設(shè)先進的微處理器控制；

真空泵泵體振動大時，與其相連的進排氣管線振動也較大，基礎(chǔ)及底座振動不大，可以排除基礎(chǔ)固定松動等原因，主要原因出于上海真空泵泵體本身。

(1)閥片斷裂：當閥片斷裂時，上海真空泵泵體振動厲害，噪音很大，一般表現(xiàn)為軸向振動較大。

上海真空泵

(2)轉(zhuǎn)子葉片結(jié)垢：葉片結(jié)垢后，造成轉(zhuǎn)子質(zhì)量不平衡，旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生振動。此種因素一般影響較小。

(3)上海真空泵聯(lián)軸器橡膠墊損壞：橡膠緩沖墊損壞甚至被磨成粉末甩出，造成聯(lián)軸器的兩個對輪副直接碰磨，加劇轉(zhuǎn)子振動。工作中一定要使用質(zhì)量好的緩沖墊并經(jīng)常檢查。

真空泵是一種較為精密的機械設(shè)備，用戶在使用過程中，真空泵抽真空難免出現(xiàn)抽氣量不足或者真空度不高的現(xiàn)象，引起這些現(xiàn)象的原因是很多的。

真空泵真空度降低該怎么辦？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不嚴，有漏氣的地方;密封填料磨損;葉輪與端蓋的間隙過大;水環(huán)溫度過高(一般不應(yīng)超過40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：擰緊法蘭螺釘或更換襯套;更換填料;調(diào)整間隙(一般應(yīng)為0.15～0.2mm);增加水量并降低進水溫度。