氫氣檢漏法的主要設備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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真空設備檢漏

氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的專用質譜儀，這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。質譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現為分子流，質譜儀才能穩(wěn)定正常工作。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。所以檢漏儀中還有一套高真空系統。

如何判斷真空系統是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強不隨時間變化，說明系統即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認為是B和C的疊加。如果出現曲線C和D的情況，則判定系統有漏氣。