針對(duì)真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

愛發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動(dòng)、的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

愛發(fā)科VDN401油旋片真空泵維修操作須知：

（1）真空泵在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)中產(chǎn)生高溫（40度-80度）。因此操作或剛停止運(yùn)行后，在電機(jī)和泵體冷卻到正常溫度以前，不能觸摸表面.

（2）工作時(shí)發(fā)生緊急情況，立即關(guān)閉總電源后保修解決

（3）設(shè)備若異常應(yīng)立即停止運(yùn)行，禁止強(qiáng)灌，持續(xù)帶病工作

（4）非維修人員嚴(yán)禁拆卸真空泵零部件

（5）維護(hù)保養(yǎng)設(shè)備所使用的布條碎布等集中放置到規(guī)定的堆放地點(diǎn)，防止雜物進(jìn)入泵內(nèi)。