光波超精密——光柵氣動直線導(dǎo)軌

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點(diǎn)是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強(qiáng)；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點(diǎn)，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——光柵氣動直線導(dǎo)軌

節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；研究結(jié)果表明，導(dǎo)軌單側(cè)寬度為9mm，前后緩沖過渡段均設(shè)2mm長度。多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實(shí)際中很少使用。

用大理石氣浮導(dǎo)軌的要求，當(dāng)運(yùn)動件沿承導(dǎo)件作直線運(yùn)動時，承導(dǎo)件上的花崗石氣浮導(dǎo)軌起支撐和引導(dǎo)作用.為保證花崗石氣浮導(dǎo)軌作用的實(shí)現(xiàn)，設(shè)計時應(yīng)滿足以下要求：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度：1.導(dǎo)軌定位精度.設(shè)計時，導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.導(dǎo)軌定位精度可達(dá)1.花崗石氣浮導(dǎo)軌在使用過程中需磨損，操作時應(yīng)輕便、省力.低速時不需爬行.2.運(yùn)動件所受的外力作用.6.結(jié)構(gòu)工藝性好.有花崗石氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn).因此，花崗石氣浮導(dǎo)軌必須具備良好的性能，才能滿足花崗石氣浮導(dǎo)軌的要求。另外，由于直線導(dǎo)軌的尺寸和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)都屬于標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)產(chǎn)品，所以我們也可以把直線導(dǎo)軌歸為標(biāo)準(zhǔn)部件這一類，所以，當(dāng)生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)直線導(dǎo)軌時，要選擇安裝一個平面的導(dǎo)軌，并對其進(jìn)行校正調(diào)整，同時也要保證兩個導(dǎo)軌的平行度在適當(dāng)?shù)姆秶鷥?nèi)。

光波超精密技術(shù)研究院——光柵氣動直線導(dǎo)軌

彈珠氣浮導(dǎo)軌的材質(zhì)要求

彈珠式氣浮導(dǎo)軌是采用氣體靜壓 zhou軸承技術(shù)制造的，因此它具有軸徑向跳動小，重復(fù)定位精度高，加載驅(qū)動力小，能夠在高轉(zhuǎn)速下平穩(wěn)地工作等特點(diǎn).為保證氣浮導(dǎo)軌具有這些性能.要求它在選擇制造材料時，必須具備下列特點(diǎn)：

導(dǎo)熱性良好，隨時間和空間變化，隨著溫度的變化，進(jìn)而引起部件內(nèi)部的溫度梯度，從而引起機(jī)械結(jié)構(gòu)的扭轉(zhuǎn)和彎曲；2熱膨脹系數(shù)小，在溫度變化時，避免造成過大的伸長縮短；

滾動導(dǎo)軌是直線導(dǎo)軌的一種。滾動直線滑軌是一種滾動導(dǎo)引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動循環(huán)，使得負(fù)載平臺能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運(yùn)動，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動導(dǎo)引的1/50，使之能輕易地達(dá)到μm級的定位精度。

滾動導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)

1、靈敏度高，且其動摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運(yùn)動平穩(wěn)，低速移動時不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復(fù)定位精度可達(dá)0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動導(dǎo)軌特別適用于機(jī)床的工作部件要求移動均勻、運(yùn)動靈敏及定位精度高的場合。

氣浮導(dǎo)軌組成部分

(1)導(dǎo)軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細(xì)管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調(diào)節(jié)裝置。

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。

氣浮導(dǎo)軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導(dǎo)入導(dǎo)軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負(fù)載實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)運(yùn)動。

應(yīng)用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實(shí)驗(yàn)室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導(dǎo)軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

制作精良的石料構(gòu)件，也干了不少導(dǎo)軌。但是多為氣浮導(dǎo)軌，靜壓導(dǎo)軌較少。組裝前，精度一般能達(dá)到3、5微米左右，因?yàn)榧虞d后精度肯定會發(fā)生變化。進(jìn)入導(dǎo)軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機(jī)床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導(dǎo)軌運(yùn)動精度和運(yùn)動速度也不斷提高，氣浮導(dǎo)軌的摩擦力將對超精密機(jī)床的定位精度、系統(tǒng)運(yùn)動速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。加工后再組裝研配，直線度可達(dá)到1微米以內(nèi)，扭曲度可達(dá)到1微米以內(nèi)，平行度可達(dá)到1微米以內(nèi)。刮除時不能破壞產(chǎn)品的度。

可調(diào)性是直線滑動導(dǎo)軌特有的優(yōu)點(diǎn)。依據(jù)導(dǎo)軌的使用情況，直線滑行導(dǎo)軌系統(tǒng)都將配備可調(diào)邊，有一個或多個。因?yàn)檫\(yùn)動部件要沿直線導(dǎo)軌的側(cè)向運(yùn)動，必須保證運(yùn)動部件與導(dǎo)軌的側(cè)向緊密接觸，所以導(dǎo)軌要有可調(diào)節(jié)功能。