光波超精密——光柵氣動直線導軌

閉式靜壓導軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強；

氣膜的剛度較高，因此對于導軌本身結構的剛度要求也較高；

(3)導軌的制作和調整較為復雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導軌一般采用不等面積氣腔結構。

根據(jù)安裝特點，氣浮導軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預載式。

光波超精密空氣導軌——光柵氣動直線導軌

節(jié)流器的選擇和設計是氣浮導軌設計的關鍵。風門型式對氣動導軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應用zui多；研究結果表明，導軌單側寬度為9mm，前后緩沖過渡段均設2mm長度。多孔質和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，但對多孔質節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設計時，淺腔結構的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。

用大理石氣浮導軌的要求，當運動件沿承導件作直線運動時，承導件上的花崗石氣浮導軌起支撐和引導作用.為保證花崗石氣浮導軌作用的實現(xiàn)，設計時應滿足以下要求：1.導軌定位精度：1.導軌定位精度：1.導軌定位精度：1.導軌定位精度.設計時，導軌定位精度可達1.導軌定位精度可達1.花崗石氣浮導軌在使用過程中需磨損，操作時應輕便、省力.低速時不需爬行.2.運動件所受的外力作用.6.結構工藝性好.有花崗石氣浮導軌的優(yōu)點.因此，花崗石氣浮導軌必須具備良好的性能，才能滿足花崗石氣浮導軌的要求。另外，由于直線導軌的尺寸和生產(chǎn)標準都屬于標準生產(chǎn)產(chǎn)品，所以我們也可以把直線導軌歸為標準部件這一類，所以，當生產(chǎn)企業(yè)在生產(chǎn)直線導軌時，要選擇安裝一個平面的導軌，并對其進行校正調整，同時也要保證兩個導軌的平行度在適當?shù)姆秶鷥取?

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彈珠氣浮導軌的材質要求

彈珠式氣浮導軌是采用氣體靜壓 zhou軸承技術制造的，因此它具有軸徑向跳動小，重復定位精度高，加載驅動力小，能夠在高轉速下平穩(wěn)地工作等特點.為保證氣浮導軌具有這些性能.要求它在選擇制造材料時，必須具備下列特點：

導熱性良好，隨時間和空間變化，隨著溫度的變化，進而引起部件內部的溫度梯度，從而引起機械結構的扭轉和彎曲；2熱膨脹系數(shù)小，在溫度變化時，避免造成過大的伸長縮短；

滾動導軌是直線導軌的一種。滾動直線滑軌是一種滾動導引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動循環(huán)，使得負載平臺能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運動，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動導引的1/50，使之能輕易地達到μm級的定位精度。

滾動導軌的優(yōu)點

1、靈敏度高，且其動摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運動平穩(wěn)，低速移動時不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復定位精度可達0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動導軌特別適用于機床的工作部件要求移動均勻、運動靈敏及定位精度高的場合。

氣浮導軌組成部分

(1)導軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調節(jié)裝置。

閉式靜壓導軌具有如下特點：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強；

(2)氣膜剛度較高，所以對導軌本身的結構的剛度要求比較高；

(3)導軌制造及調整比較復雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導軌一般是采用不等面積氣腔的結構。

氣浮導軌是利用空氣粘性，將外部壓縮空氣通過節(jié)流器導入導軌與滑塊間隙中，形成具有超高剛度的氣膜間隙，從而支撐負載實現(xiàn)平穩(wěn)運動。

應用行業(yè)：電子制造裝備行業(yè)中，如光刻機、貼片機等納米、亞微米行業(yè)的超高精度測量及實驗室測量

使用壽命摩擦系數(shù)接近為零，永不i磨損，精度延續(xù)性精度持久性高，出廠精度即為永i久精度導軌永不i磨損，因此不存在售后問題，使用成本不用返廠維修，更不用整套更換。

制作精良的石料構件，也干了不少導軌。但是多為氣浮導軌，靜壓導軌較少。組裝前，精度一般能達到3、5微米左右，因為加載后精度肯定會發(fā)生變化。進入導軌間隙的氣體由氣浮軸承排出，其粘性力大于慣性力2，隨著機床加工精度測量儀測量精度的不斷提高，導軌運動精度和運動速度也不斷提高，氣浮導軌的摩擦力將對超精密機床的定位精度、系統(tǒng)運動速度產(chǎn)生不可忽視的影響3'。加工后再組裝研配，直線度可達到1微米以內，扭曲度可達到1微米以內，平行度可達到1微米以內。刮除時不能破壞產(chǎn)品的度。

可調性是直線滑動導軌特有的優(yōu)點。依據(jù)導軌的使用情況，直線滑行導軌系統(tǒng)都將配備可調邊，有一個或多個。因為運動部件要沿直線導軌的側向運動，必須保證運動部件與導軌的側向緊密接觸，所以導軌要有可調節(jié)功能。