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日本ULVAC供應(yīng)擇優(yōu)推薦【捷恩】

發(fā)布時間:2020-12-31 07:28  

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機械真空泵的特殊工作條件要求真空泵油應(yīng)具有以下性能:

(1)極低的蒸汽壓:這是真空泵油的性能,由于真空泵要求真空度達到1.33×10-4Pa(或10-6mmHg),高的要求達到1.33×10-6Pa(10-8mmHg)以下,這就要求真空泵油的蒸發(fā)性極低,而且要求消耗量,以防蒸發(fā)。一般要用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴散真空泵,還可使用蒸汽壓很低的硅油或其它合成油。





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射流式真空泵

沒有機械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結(jié)構(gòu)簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應(yīng)用比較普遍。




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蒸氣流泵前級配備 該類泵包含油擴散泵、油外擴散噴射泵及其增擴泵等。在主泵容許的較大 排氣管工作壓力下,前級泵需將主泵造成的較大 汽體量立即吸走,即前級泵的合理泵效務(wù)必考慮:Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn式中,Sq——前級泵的有效抽速,L/s,和選擇高真空泵一樣,先由Sq來確定前級泵的抽速,然后再根據(jù)該抽速選定泵型;






pn ——主泵前級的臨界前級壓力,Pa;

Qmax ——所能排出的氣體量,Pa .L/s;

pg ——主泵允許的工作壓力,Pa;

S——主泵工作在pg時的有效抽速,L/s。

在選擇前級泵時,應(yīng)該注意機械泵的抽速是在大氣壓力下測得的,但正常使用的泵都是在低于大氣壓的條件下運轉(zhuǎn),使泵的抽速下降了,因而我們必須根據(jù)抽速曲線來選擇泵。若沒有抽速曲線,可參考經(jīng)驗公式