Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

       電子產(chǎn)品由于無法有效地解決耐高溫、耐高濕、耐鹽霧等工業(yè)技術(shù)問題，在使用環(huán)境復(fù)雜的情況下，往往會造成元器件失效、設(shè)備故障，甚至完全喪失功能。

       利用Parylene有機(jī)涂層的低透過性、防水性、絕緣性，應(yīng)用于LED室外大屏上，使其屏幕暴露于室外起到了防潮，絕緣的效果，不管是晴天或雨天，都能使屏幕能正常工作。 用較厚的涂層才能實現(xiàn)防護(hù)，派瑞林涂敷是由活性的對二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合成。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導(dǎo)磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業(yè)作為今后10-15年的發(fā)展產(chǎn)品。這些產(chǎn)品的表面采用Parylene來涂上一層保護(hù)層，以增強(qiáng)產(chǎn)品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機(jī)等領(lǐng)域的運用大。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時間能達(dá)到70-100小時。而采用Parylene可以達(dá)到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補(bǔ)穩(wěn)定特性制作）。